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來源：http://www.szdxd.com 作者：konuaer 2012年05月15
聲表面濾波器的應用及發展
1 前言
聲表面濾波器―SAW（SurfaceAcousticWave）就是在壓電基片材料表面產生和傳播、且振幅隨深入基片材料的深度增加而迅速減少的彈性波。SAW濾波器的基本結構是在具有壓電特性的基片材料拋光面上制作兩個聲電換能器――叉指換能器（IDT）。它采用半導體集成電路的平面工藝，在壓電基片表面蒸鍍一定厚度的鋁膜，把設計好的兩個IDT的掩膜圖案，利用光刻方法沉積在基片表面，分別作為輸入換能器和輸出換能器。其工作原理是輸入換能器將電信號變成聲信號，沿晶體表面傳播，輸出換能器再將接收到的聲信號變成電信號輸出。
1 前言
聲表面濾波器―SAW（SurfaceAcousticWave）就是在壓電基片材料表面產生和傳播、且振幅隨深入基片材料的深度增加而迅速減少的彈性波。SAW濾波器的基本結構是在具有壓電特性的基片材料拋光面上制作兩個聲電換能器――叉指換能器（IDT）。它采用半導體集成電路的平面工藝，在壓電基片表面蒸鍍一定厚度的鋁膜，把設計好的兩個IDT的掩膜圖案，利用光刻方法沉積在基片表面，分別作為輸入換能器和輸出換能器。其工作原理是輸入換能器將電信號變成聲信號，沿晶體表面傳播，輸出換能器再將接收到的聲信號變成電信號輸出。
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此文關鍵字： 聲表面濾波器
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